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科益虹源是一家專業準分子鐳射技術解決方案提供商,致力於打造自主創新型企業,以具有自主智慧財產權的準分子鐳射技術及產品滿足國家和市場需求。公司是一家光刻機核心零部件公司,主要產品為DUV(深紫外)光刻光源產品系列。